那要看設(shè)備是什么配置了,如果只有一個(gè)泵,能達(dá)到10Pa,如果是擴(kuò)散泵機(jī)組,能到10負(fù)二次方,如果是分子泵,可以達(dá)到10的負(fù)四次方 。
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